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尚积半导体12寸PVD
集微网消息,据国家集成电路设计无锡产业化基地消息,尚积半导体于近日成功交付了一批12寸PVD&CVD薄膜沉积设备给国内某头部客户,标志着尚积半导体的产品成功跻身12寸半导体。
尚积半导体是一家专业研发、生产半导体国产自研设备的厂商。主营设备包括金属溅射沉积(PVD)、加强型等离子化学气相沉积(PECVD)、等离子干法刻蚀(ETCH)等,主要服务于功率器件、微机电系统、先进封装、化合物半导体、射频等领域的客户。
据介绍,尚积半导体在半导体产业的多个领域实现薄膜溅射设备的首次国产化突破和进口替代,刻蚀设备、沉积设备陆续通过验证后交付,并获得大量订单。
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